等离子体表面处理仪工作原理

等离子体表面处理仪指的是将足够的能量施加给气体使之离化变成等离子状态，样品表面利用这些活性组分的性质来进行处理，从而使清洁、改性、光刻胶灰化等的目的得以实现。

等离子体表面处理仪工作原理

等离子体又被称为电浆，为被剥夺了部分电子后的原子以及原子被电离后所生成的正负电子构成的离子化气体状物质，其在宇宙中普遍地存在。经常被当作除了固体、液体以及气体之外物质存在的第四态。等离子体为一种相当好的导电体，等离子体利用经过巧妙设计的磁场能够被捕捉、移动和加速。对于材料、能源、信息、环境空间，空间物理，地球物理等科学的进一步发展，一种新的技术和工艺为等离子体物理的发展所提供。

主要凭借等离子体中活性粒子的“活化作用”来使得将物体表面污渍去除的目的达到为等离子体清洗的机理。就反应机理来观察。将无机气体激发为等离子态、在固体表面吸附气相物质、被吸附基团与固体表面分子反应使产物分子生成、产物分子被解析使气相形成以及反应残余物从表面脱离为等离子体清洗一般所包含的过程。

等离子体表面处理装置是将两个电极设置在密封容器中使得电场形成，一定的真空度通过真空泵来加以实现。分子间距及分子或离子的自由运动距离随着气体越来越稀薄也越来越长，受电场作用，它们发生碰撞使得等离子体形成，这些离子有着非常高的活性，其能量能够将几乎所有的化学键破坏掉，使得化学反应任何暴露的表面发生，气体的等离子体不同，化学性能也有所差异。