X射线能谱仪的简介

用于分析材料微区成分元素种类与含量，对扫描电子显微镜与透射电子显微镜的使用加以配合的仪器，称为x射线能谱仪。

X射线能谱仪的简介

射线光电子能谱(XPS)又被叫做化学分析用电子能谱(ESCA)。在六十年代，由瑞典科学家 Kai siegbahn教授将该方法发展起来。因为在光电子能谱的理论和技术上的重大贡献，1981年, KaiSiegbahn获得了诺贝尔物理奖。在这三十多年以来，不管是在理论上还是在实验技术上，X射线光电子能谱的发展都越来越好。刚开始，XPS仅仅用于化学元素的定性分析,，如今已经发展成为了表面元素定性、半定量分析及元素化学价态分析的重要手段。XPS的研究领域也不再局限于传统的化学分析,而扩展到现代迅猛发展的材料学科。如今，在日常表面分析工作中，该分析方法的份额已经占到了一半左右，已经为一种zui主要的表面分析工具。

应用：

元素定性分析

元素周期表中的任何一种元素均拥有自己独有的原子结构,不同于其他元素，正是由于这种结构的差异，使得每种元素均有自己的特征能谱图,因此，对一条或几条电子线在图谱中的位置进行测定，就能够将样品显示的谱线属于哪种元素非常容易地识别出来。因为每种元素均有自己的特定的电子线,就算是相邻的元素，也不可能有误判出现，所以用这种方法进行定性分析的准确度是相当高的。通过对样品进行全扫描,能够在一次测定中就能够将全部或大部分元素检测出来。

作为分析工具，ⅹ射线能谱zui为常用。在表面吸附、催化、金属的氧化和腐蚀、半导体、电极钝化、薄膜材料等方面均有应用。