辉光放电光谱仪的基本组成

辉光放电光谱技术是一种分析技术，其能够直接对固体样品进行分析。材料的基板分析为其Z早的应用领域。这些年以来，辉光深度剖面分析技术在材料表面分析领域得到了广泛地应用，人们对此技术也越来越看重。辉光放电光谱仪相比于俄歇(AES)、二次离子质谱(SIMS)等其他的表面分析仪器，尽管原子水平的表层分析不能进行，然而其在表层和深度部面分析方面具有非常显著的优势，其又较为便宜的价格，能够非常迅速地分析和十分方便地定量。在国外的工厂、实验室及研究ZX得到了非常广泛的应用。新材料的研究开发和产品的质量控制为该技术的主要用途。

基本组成

仪器主体和配套设施共同构成了辉光放电光谱仪。其中，辉光放电光源、光学系统、信号接收器及电子控制系统、计算机软件系统为构成主体仪器的四个主要部分。标准样品、再校准标样、表面形貌仪、氩气气源、氮气气源、样品冷却系统、压缩空气等为配套设施。辉光放电灯连接(P1、P2)一对真空泵系统，两个真空泵有不一样的真空度。P2的真空度要远远超过P1的真空度，真空系统迅速抽走被溅射的原子，从而使样品中元素成分与接收到的光谱强度始终保持同步得到保证。

透镜、狭缝、反光镜、光栅多色仪和单色仪等是仪器的光学系统的主要组成部分。多色仪的每一通道仅对某一元素的某一波长的光进行接收。可以根据用户要求配置通道数，越多的通道数，就能够同时将更多的元素检测出来。一个可转动的衍射光栅内置于单色仪中。全谱扫描未知样品为其主要的用途，用来定性分析或者半定量分析,其也能够结合多色仪被作为多色仪的一个通道来使用,此时，能够按照用户的要求将其设定为某一元素的某一波长，使得N+1功能实现，从而对多色仪的不足加以弥补。

多色仪和单色仪内每一通道有一个接收器,光电倍增管和电子控制系统共同组成了接收器，对光信号进行接收，放大光信号后送到电子控制系统进行系统集成并与计算机通讯是其作用。

软件部分是Z重要的人机界面,辉光放电光谱仪有着较为简单的操作，在软件上进行大部分工作的操作。QUANTUM软件为辉光放电光谱仪的专用配套软件。仪器的校准,建立标准曲线,数据处理,检测样品,输出报告等为其主要的工作。