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主营 刻蚀机

主营 Deposition沉积系统、Etching刻蚀系统、Growth生长系统、Cleaning清洗去胶系统、热真空试验系统、核心组件、双系统

主营 超高真空和高真空系统、原子力显微镜、三维表面形貌仪、扫描式激光形貌仪、薄膜和材料表面的无损检测、宽频介电阻抗谱仪、快速退火炉、微纳米加工定位技术、极紫外光源与光栅、去胶机（微波等离子体系统）、紫外光刻机、Raith电子束光刻/聚焦离子束系统、电子源、离子源、电子束蒸发源、纳米粒子源、PEEM、RHEED、磁控溅射和电子束蒸发系统、激光分子束外延系统(LMBE)、脉冲激光沉积系统(PLD)、分子束外延系统(MBE)、红外测温仪

主营 光刻机

主营 霍尔效应测试仪 Hall System、快速退火炉 RTP / RTA、探针台 Probe Station、镀膜机、半导体及微电子工艺设备、半导体微电子材料测试仪器、低温及磁体 Cryostat, Magnet、其他仪器设备

主营 电子束刻蚀系统、研磨仪/研磨机、切割机、硬度计

主营 电子束刻蚀系统、扫描探针显微镜/原子力显微镜/扫描隧道显微镜/磁力显微镜/静电力显微镜

主营 薄膜太阳能电池检测系统、辛耘清洗蚀刻设备、常压电浆清洗设备、高分辨率三维X射线显微镜、烧结炉、超声波扫描、椭偏仪、电子/半导体、晶圆再生服务