主营 PHI、能谱仪、质谱仪

主营 超高真空和高真空系统、原子力显微镜、三维表面形貌仪、扫描式激光形貌仪、薄膜和材料表面的无损检测、宽频介电阻抗谱仪、快速退火炉、微纳米加工定位技术、极紫外光源与光栅、去胶机（微波等离子体系统）、紫外光刻机、Raith电子束光刻/聚焦离子束系统、电子源、离子源、电子束蒸发源、纳米粒子源、PEEM、RHEED、磁控溅射和电子束蒸发系统、激光分子束外延系统(LMBE)、脉冲激光沉积系统(PLD)、分子束外延系统(MBE)、红外测温仪

主营 X射线散射仪、俄歇电子能谱、波散型X射线荧光光谱仪、X射线应力仪、能散型X射线荧光光谱仪、X射线定向仪、电子探针/X射线微区分析仪、X射线能谱仪、X射线光电子能谱仪、X射线衍射仪