椭圆偏振技术的定义

椭圆偏振技术（ellipsometry）是一种强大并且多功能的光学技术，能够用来将薄膜的介电性质（复数折射率或介电常数）取得。其已经在许多不同的领域被应用，由基础研究到工业应用，如半导体物理研究、微电子学和生物学。作为一个薄膜性质测量技术，椭圆偏振非常的敏感，并且它的优点为非破坏性和非接触。

定义

标准与广义椭圆偏振理论

标准椭圆偏振理论(或简称椭圆偏振理论)所指的是没有s偏振光被改变为p偏振光，相反，也是这样。这个情形一般是针对光学等向性的样品。除此以外，如果为一单光轴的样品，其光轴排列平行表面之法矢量，也能够对标准椭圆偏振理论适用。其他任何情况，当s偏振光会被改变为p偏振光且/或反之亦然的状况，广义椭圆偏振理论就需要被使用。

琼斯矩阵与穆勒矩阵型式

数学上能够使用两种不同的方式来对电磁波与样品间的作用进行描述，其一是琼斯矩阵，另外一个是穆勒矩阵。在琼斯矩阵表示法，电磁波在作用前与作用后通过具有两个复数值的琼斯矢量来描述，而其间的转换则是以一具复数值的2乘2矩阵（即琼斯矩阵）表现。

单波长与光谱椭圆偏振技术

单波长椭圆偏振技术使用单色光光源，一般是可见光范围之激光光源，比如波长是632.8纳米的氦氖激光。所以也常常被叫做激光椭圆偏振技术。它的优点为激光光能够聚焦成非常小的光点，并且和非单色光之宽频谱光源相比较，激光光可以提供比较高的强度，所以能够利用来椭圆偏振成像。但是，实验的结果也被限制在每次测量仅可以获取一组的值。光谱椭圆偏采用宽频谱之光源，包含了红外光、可见光或紫外光的某一段光谱区域。复折射率或介电性质凭此能够在相关之光谱范围获得，并且根据此会有非常多的基本物理性质获得。晶格振动声子及自由电荷载子(等离子体)等性质能够为红外光光谱长椭圆偏振技术所获得。但是在近红外光、可见光到紫外光的范围里，就为用于研究透光或能隙下范围及电子特性的研究。