中国科学院半导体研究所
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中标结果
采购预告
合作单位
牛津仪器科技(上海)有限公司
招标编号:OITC-G200331121
中标金额
791.0475万元
发布时间
2020-08-04
产品1
厚膜掺杂等离子体增强淀积设备
品牌
OXFORD
型号
PlasmaPro 100
数量
1套
价格
219.49295万元
产品2
高质量离子束溅射镀膜系统
品牌
OXFORD
型号
Ionfab 300
数量
1套
价格
571.55455万元
招标编号:OITC-G190331177
中标金额
668.19 万元
发布时间
2019-09-02
产品1
厚氮化硅感应耦合等离子体化学气相沉积台
品牌
无
型号
无
数量
1套
价格
375000 英镑
产品2
硅基铌酸锂薄膜电感耦合等离子刻蚀机
品牌
无
型号
无
数量
1套
价格
375000英镑
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