白光干涉测厚仪

白光干涉测厚仪简介：白光干涉测厚仪是利用干涉原理测量光程之差从而测定有关物理量的光学仪器。两束相干光间光程差的任何变化会非常灵敏地导致干涉条纹的移动，而某一束相干光的光程变化是由它所通过的几何路程或介质折射率的变化引起，所以通过干涉条纹的移动变化可测量几何长度或折射率的微小改变量，从而测得与此有关的其他物理量。白光干涉仪应用于半导体、液晶、光纤、材料研究、精密加工、生物医学等领域。