美国KRI离子束刻蚀系统

类别：离子束刻蚀系统

品牌：美国KRI/Kaufman & Robinson

产地：美洲  美国

1978年Kaufman博士在美国创立Kaufman & Robinson,Inc公司，研发生产考夫曼离子源Gridded和霍尔离子源Gridless。美国考夫曼离子源历经几十年改良及发展已取得多项专利。 离子源广泛用于离子清洗 PC，离子蚀刻IBE，辅助镀膜 IBAD，离子溅射沉积IBSD领域。