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电子束刻蚀系统品牌
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德国ATM/ATM
德国Allresist/Allresist
铠柏科技/Adnano-tek
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日本ELIONIX/ELIONIX
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美国IMP/Intelligent Micro Patterning, LLC
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日本电子/JEOL
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美国KLA/KLA
深圳科时达/Kesda
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美国那诺-马斯特/Nano-Master
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美国NANONEX/Nanonex
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上海载德/SIDE
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日本Ushio/Ushio
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电子束刻蚀系统产品
英国Nanobean NB5 电子束光刻机
品牌:英国NanoBeam
型号:NB5
德国Raith Pioneer Two 电子束光刻机
品牌:德国Raith
型号:Pioneer Two
德国Raith 150 Two 高分辨电子束曝光系统
品牌:德国Raith
型号:150 Two
德国Raith Voyager 新一代超高分辨率电子束光刻机
品牌:德国Raith
型号:Voyager
德国Raith EBPG5150 电子束光刻机
品牌:德国Raith
型号:EBPG5150
中科光电紫外光刻机URE-2000/34AL
品牌:光电所
型号:URE-2000/34AL
德国Zeiss SEM 电子束直写仪
品牌:德国蔡司
型号:SIGMA
德国Allresist 电子束光刻胶AR-P 617
品牌:德国Allresist
型号:AR-P 617,AR-P6200
日本JEOL大功率电子枪/电源EBG-300UA,JEGB-1000UB,JEBG-3000UB
品牌:日本电子
型号:EBG-300UA,JEGB-1000UB,JEBG-300
TP 系列 高频感应等离子体发生器
品牌:日本电子
型号:TP 系列
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