瑞士idonus/idonus

idonus 专门为MEMS和制表行业开发和制造特殊设备。产品组合包括用于光刻的 UV-LED 曝光系统 (UV-EXP)、用于晶片检测的红外显微镜 (IR-M) 和用于硅基器件的气相化学蚀刻机 (VPE)。