美国Polycold/Polycold

美国Polycold是低温水气泵(waer vapor cryopump)的一个品牌，Meissner先生发明了低温水气泵(waer vapor cryopump)并得到相关的应用，且注册了品牌Polycold。目前Polycold是属于美国Brooks公司，Polycold冷冻机辅助抽真空，在真空度10-2至10-8mabr之间快速吸附真空腔内残余水汽和油气，帮助企业显著提升产能和镀膜质量。