美国PVD/PVD

1995年，JamesA.Greer博士创立了PVD产品，开发和销售大面积脉冲激光沉积系统。他以前在Raytheon研究部工作，Greer博士开发了能够将PLD工艺规模扩大到200mm的原型设备。当时，格雷尔博士认为研发市场需要这样的工具，并让雷神公司为研发制造各种基于物理气相沉积（PVD）的工具。