JC/T 2243-2014 等离子体增强化学气相沉积工艺用覆膜石英管

Quartz tube covered in a film for PECVD

标准状态：
现行
ICS号：
81.040.30玻璃产品
发布日期：
2014-10-14
中标分类号：
Q35石英玻璃
实施日期：
2015-04-01
出版语种：
英文
标准简介：
本标准规定了等离子体增强化学气相沉积工艺用覆膜石英管的术语和定义、材料、要求、试验方法、检验规则、标志、包装、运输和贮存。本标准适用于板式等离子体增强化学气相沉积工艺用覆膜石英管。
起草人：
张葆青、白凤茹、周文华、黄良吉、陈平
起草单位：
上海强华石英有限公司、久智光电子材料科技有限公司、上海神舟新能源发展有限公司
归口单位：
全国工业玻璃和特种玻璃标准化技术委员会(SAC/TC 447)
发布部门：
中华人民共和国工业和信息化部