行业标准
Specification for radiation hardened monocrystal silicon wafers for millitary CMOS integrated circuits
标准状态：
现行发布日期：
1999-11-10中标分类号：
L5971实施日期：
1999-12-01出版语种：
英文标准简介：
本规范规定了军用CMOS电路用抗辐射硅单晶片的要求、质量保证规定和交货准备等。本规范适用于军用CMOS电路用直径为50.8mm76.2mm和100mm抗辐射硅单晶片抛光片（以下简称硅片）。起草人：
张忆延、段曙光、刘峰起草单位：
电子工业部第四十六研究所归口单位：
中国电子技术标准化研究所发布部门：
中华人民共和国信息产业部施行日期：1986-07-01
施行日期：1986-07-01
施行日期：1986-07-01
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