行业标准
Sputtering ion pump-Testing methods
标准状态：
现行发布日期：
1981-03-27中标分类号：
C01技术管理实施日期：
1981-08-01出版语种：
英文施行日期：1991-12-01
施行日期：1991-12-01
施行日期：1991-12-01
施行日期：1991-12-01
施行日期：1991-12-01
施行日期：1991-12-01
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施行日期：1991-12-01
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