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GB/T 20176-2006 表面化学分析二次离子质谱用均匀掺杂物质测定硅中硼的原子浓度

标准状态：
现行
发布日期：
2006-03-27
标准简介：
本标准详细说明了用标定的均匀掺杂物质确定单晶硅中硼的原子浓度的二次离子质谱方法。
发布部门：
国家标准化管理委员会

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