用户论文：微组装Teflon/Si3N4多层膜的结构和微摩擦磨损性能

"全文请访问：http://www.spm.com.cn/papers/p48.pdf


利用离子束增强交替溅射聚四氟乙烯和氮化硅靶的方法制备出微组装的Teflon/Si3N4多层膜，并通过PHI-5300FT-IR2000XRD和AFM/FFM等测定了多层膜的结构力学性能和微观摩擦磨损性能实验结果表明：Teflon/Si3N4多层膜由晶态的Teflon和非晶态的Si3N4组成；Teflon/Si3N4多层膜的硬度与韧性摩擦系数与耐磨能力得到优化组合；Teflon/Si3N4膜的微摩擦力与载荷间呈良好的线形关系；当载荷大于70nN时，摩擦过程中Teflon会发生滑移，出现明显的磨损

全文请访问：http://www.spm.com.cn/papers/p48.pdf" 扫描探针显微镜(SPM/AFM/STM)