超薄Au镀膜的测量

用SFT系列（微小部分荧光X射线膜厚仪）对０.０５ｍ以下的超薄Au镀层实行测定的时候，受检
测器的分辨率的制约，测定会有些困难
SEA5100系列采用了高分辨率的半导体检测器，S/N得到大幅改善，能够对几十埃的极薄的Au薄膜进
行测定 日立FT110A X射线镀层测厚仪