Sensofar共聚焦白光干涉仪 | 用于激光雕刻钢材嵌件的尺寸分析

      激光技术非常适合用于制造模具中的微孔、微流控通道或甚至是强化钢或硬金属工具的微铣削。我们使用纳秒和飞秒激光来实现出色的表面质量。因此，激光技术用于功能性纹理，在其中雕刻的纳米结构增加了功能性。例如，我们可以创建减少摩擦或增加衍射、捕获或扩散的结构。其他结构可能是超疏水甚至是抗菌的。

      对于功能性纹理，超短脉冲持续时间的激光，如飞秒激光，有两个主要优势。首先，微铣削没有毛刺，因此部件几乎没有热效应。结果是一个干净、锐利的微铣削，具有明确的边缘和高质量的表面处理。其次，因为它是一个“冷激光”，我们可以在任何材料上进行雕刻：蓝宝石、塑料、玻璃、陶瓷、铝、钢等。换句话说，使用飞秒激光，我们可以直接在如塑料和透明玻璃等材料制成的零件上进行雕刻，实现完全的均匀性。

图1. 整个插件的2D地形图，带有真实颜色信息。

研究扩散纹理

      我们想要研究的样品是使用飞秒激光雕刻的钢插件（图1）。该部分由两种不同的几何形状组成：第一种是由平面交叉形成的。另一种几何形状是带有小细节的波浪形表面。这两种几何形状的表面都有扩散纹理。

      这两种结构都是为了在光通过注射的塑料部件时产生特定效果，并且通过扩散设计，我们希望创建一个均匀的光分布。此部分的目的是注入PMMA，然后进行光度学研究。根据Sensofar给我们的结果，我们可以知道调整光学模拟器的参数以达到精确。

图2. 整个插件的3D地形图，其面积为123 x 128 mm2，测量过程仅用了2分钟。

      我们使用S wide系统来表征这个部件。它使用条纹投影技术，通过检测投射的结构光上的图案变化来测量表面。这种技术允许测量大面积，具有亚微米的重复性。多亏了条纹投影系统和自动拼接，我们在短短几分钟内（图2）以Z高可能的质量测量了所有东西。

图3. 从轮廓视图中获取的插件的特写视图和关键尺寸。

      了解雕刻结果（形状、角度、表面质量）对于确保一切都在光学要求内是至关重要的。有了Sensofar S wide，我们可以一次性测量所有的几何形状，验证所有内容都在所需的参数范围内（图3）。

Sensofar的条纹投影技术在微尺度上分析功能性纹理非常有效。因此，我们可以获得快速且无损的测量，确保功能性纹理将得到适当的应用。

多亏了S wide，我们可以提供出色的质量控制，并使用SensoVIEW将关于几何形状的所有细节总结在报告中。S wide还超越了一些条纹投影系统的典型限制，因为我们可以测量抛光表面。