SEM测试解决方案

SEM扫描电子显微镜主要是对材料形貌，组织观察。是一种介于透射电子显微镜和光学显微镜之间的一种观察手段。其利用聚焦的很窄的高能电子束来扫描样品, 通过光束与物质间的相互作用, 来激发各种物理信息, 对这些信息收集、放大、再成像以达到对物质微观形貌表征的目的。

实验原理：扫描电子显微镜电子枪发射出的电子束经过聚焦后汇聚成点光源;点光源在加速电压下形成高能电子束;高能电子束经由两个电磁透镜被聚焦成直径微小的光点, 在透过后面一级带有扫描线圈的电磁透镜后, 电子束以光栅状扫描的方式逐点轰击到样品表面, 同时激发出不同深度的电子信号。此时, 电子信号会被样品上方不同信号接收器的探头接收, 通过放大器同步传送到电脑显示屏, 形成实时成像记W录。

1.样品要求：

粉体需5mg左右；（须确认是否需要乙醇超声分散，或分散性比较好的样品直接分散在导电胶上测试即可）

块体长宽高需小于10mm（超出该尺寸需和测试机构确认，镶嵌样及多孔材料抽真空时间较长，尺寸尽量小一些）；

液态或粘稠样品务必烘干寄样，如电子束照射下流动变形，则无法拍摄；

拍摄截面请尽量提前制备截面：

对于脆性薄片如硅片、玻璃镀膜片等可直接掰断或敲断；对于高分子聚合物，可冲击断裂，该法得到断面粗糙度比较大；可液氮脆断，将样品在液氮下脆化处理后瞬间折断，可得到较为光滑平整的断面；可离子切割，利用离子束抛光仪，通过离子束轰击样品截面，去除墨痕、碎屑和加工应变层；可使用冷冻超薄切片，超薄切片得到的样品，更接近样品固有状态结构，适用于韧性很强且硬度很大的样品，如聚丙烯材料；

2. 关于喷金/碳：

用扫描电镜观察时，当入射电子束打到样品上，会在样品表面产生电荷的积累，形成充电和放电效应，影响对形貌图的观察和拍照记录。

粉末样品建议选择喷金或喷碳形成连续膜固定，否则容易高真空抽走；另外导电性差及磁性样品为保证拍摄效果，在观察之前要进行导电处理，喷金使样品表面导电；

一般拍形貌，喷金（Au、Pt）清晰度更好，Au颗粒是5nm左右，Pt是2nm左右，理论上Pt尺寸小，对形貌的影响更小，更合适一些；但是由于Au和 Pt的峰可能会对其他元素的能谱有影响，而碳的结合能比较低，基本无影响，如存在与Au和Pt峰重叠的元素存在，这时喷碳更合适，测试时可针对样品成分区别进行选择；

3. 提供拍摄倍数（5~20W），不同型号设备的倍数有一定区别，为保证得到满意的效果，请提供形貌参考图及能谱位置说明，或尽量文字详细描述需求；

4. 测试项目：SEM形貌扫描；EDS点扫/面扫；EDS mapping（接样时需询问）

5. 特别注意：无法测试强磁材料；若样品有磁性（含铁/钴/镍/锰元素），务必备注清楚；若隐瞒样品实际信息，导致设备损坏，需承担全部赔偿责任；

应用范围：由于扫描电子显微镜具有上述特点和功能,所以越来越受到科研人员的重视,用途日益广泛。扫描电子显微镜已广泛用于材料科学(金属材料、非金属材料、纳米材料)、冶金、生物学、医学、半导体材料与器件、地质勘探、病虫害的防治、灾害(火灾、失效分析)鉴定、刑事侦察、宝石鉴定、工业生产中的产品质量鉴定及生产工艺控制等

关联测试：

SEM-EDS联用测定仪：材料形貌，组织观察。元素定性半定量分析，针对粉末或者比较小的固体样品，可以进行点、线、面扫描测试