CMP 浆液过滤测试

通过过滤和监测来实现控制机械化学研磨液(CMP)的尾端大粒子数（LPC）,以减少晶圆表面上会降低产量值的微划痕。Entegris现在提供正确控制CMP浆料粒度分布以ZD化产量所需的过滤器和粒度分析仪。