超高灵敏度在线监测CMP 浆料中超大颗粒的单颗粒光学传 感技术

我们最近开发了一个独特的系统，该系统旨在监控用于CMP 处理的胶体浆料的
粒径分布（PSD）的大颗粒尾部。基于单粒子光学传感（SPOS）技术，我们的
AccuSizer 780 / OL 工具可产生具有前所未有的精度和分辨率的异常颗粒的颗粒
计数与直径数据，这些异常颗粒可能会在抛光过程中在晶片表面造成缺陷，并且
存在的量不一在所有浆液源中与整体方法不同，例如激光衍射（将亚微米范围内
的Mie 散射与大于1 微米的Fraunhofer 衍射结合在一起），SPOS 技术仅对总粒
子数量的一小部分做出响应-通常大于0.5 微米的粒子。但是，与激光衍射不同，
SPOS 方法可产生真实的分布，一次堆积一个粒子，而没有严重困扰激光衍射的
严重伪影。很容易揭示出大粒子离群点（通常是较小的基团的团聚体）浓度的细
微变化，这些细节对于评估CMP 浆料的质量至关重要，通常通过诸如激光衍射
或超声衰减之类的整体方法会完全忽略掉这些细节.