真空炉如何检漏

问题： 真空炉如何检漏

准备：晶体生长在高真空的环境下进行材料催化，晶体生长，所使用真空炉需要达到E-3pa的真空度。之前设备真空度抽不上去时，是有经验的师傅在可能的泄漏点抹丙酮，观察电阻的变化来预估漏孔。这种方法有检测花费时间长，精度低，较依赖师傅的经验，无法全面检测等缺点。

 解决方法：采用安徽歌博科技有限公司的A100型氦质谱检漏仪，采用负压法检漏。将检漏仪与真空炉体通过波纹管连接。用氦气袋向真空炉体表面喷氦。因为炉体内外存在压差，氦气会通过漏孔进入真空炉体内部，Z终被氦检仪捕捉到，如果氦检仪报警，说明此处有泄漏。这种方法具有检测精度高，灵敏度高，花费时间短等优点。