蔡司sigma500电镜的隔振方案

蔡司sigma500电镜的隔振方案

背景：

使用单位：哈尔滨工业大学

+材料科学研究位于前0.1%行列 该研究室主要针对水处理，及水薄膜领域的研究  

仪器：ZEISS Sigma-500

+应用于高品质成像与高级分析的场发射扫描电子显微镜

隔振方案供应商：优尼康科技有限公司

+ 专业环境方案提供商

+ 专业研究单位服务商

+ Table Stable 主动隔振系统供应商

描述：

+实验室的外部环境较为复杂。同楼层多个研究室并排分布，人员物品来往密集。外部10米范围内的泵房以及电梯井到SEM镜筒小于5米，由于电梯井的水平面低于实验室的地面，且是槽式框架结构，当电梯的两个箱体自由上下工作时，会产生较大振动，直接作用于于电镜的镜筒，影响电镜无法正常捕捉图像。

+Sigma500内部集成了空气气垫，在25Hz~40Hz频率范围有较好的减震性。主要用途是减缓电镜内部产生的高频机械振动，对来自于地面的低频振动，则无法消除。

+高性能主动隔振系统可以在0.7Hz-200Hz，做主动减震，从而为电镜提供一个稳定的环境，提高所拍摄图片的质量。

Table Stable主动隔振技术
+主动和被动两种隔离机制同时工作，产生Zyou隔振效果
+Zxian极n的压电陶瓷技术，GX探测传入的振动并主动地消除振动
+无低频共振

+在空间6个自由度都有的宽频谱衰减能力

+高刚性设计

AVI-400主动隔振系统
+模块化设计
+具有高负载能力
+小尺寸设计
+适用各品牌电镜

**步：整体抬升电镜

第二步：放置隔振系统

第三步：连接线路并调整负载

第四步：开始使用

安装时间：大约1小时

所需工具：电镜专用举升系统 &活动扳手 &内六角扳手 &专用开口扳手

数据展示

图像展示

30万倍-电梯运行时得到的图像 VS30万倍-电梯运行+主动隔振时得到的图像

主动隔振后得到的图像

优势

+性价比高

+高度匹配电镜

+小型化，适用于个性化要求

+模块可扩展

+不增加电镜横向空间

+超薄设计，电镜ZX仅110mm

+安装调试简便，无须国外工程师安装

+维护费用低

+国内样机SY及演示