Instec 为探针台增加样品温控功能的解决方案

本方案能让平常只能在常温下进行样品电测试的探针台，增加样品温控的功能这样有几个好处： 一成本低在探针台上多加个高低温晶圆夹盘/温控晶圆卡盘就能做温控条件下样品探针测试，相当于一个温控探针台； 二技术权威Instec冷热台控温好，-190~600上下通吃，稳定性不差于0.05，台面温度低梯度，表面粗糙度低台面能接地能电悬空，设备还能通3轴接口这是出自美国名校科罗拉多大学的Instec其30年经验历史保证； 美国Instec 圆形高低温/温控晶圆夹盘/卡盘系列/探针台用 美国Instec 方形高低温/温控晶圆夹盘/卡盘系列/探针台用 美国Instec HCC302高低温/温控晶圆夹盘/卡盘系列/探针台用 美国Instec HCC602高温温控晶圆夹盘/卡盘系列/探针台用 美国Instec TC102S TC104S 半导体温控晶圆夹盘/卡盘系列/探针台用