净化工程文章-洁净室空调洁净化方案（二）

洁净隧道的特点如下：
(1)在隧道内造成不同的洁净度，从而充分利用了不同洁净气流的特性，Zda限度地满足工艺要求一般情况下，隧道内的两侧是高洁净度的层流工作区，中间是乱流的操作活动区工艺区连成一条线，使用方便，人员的活动也不会引起交叉污染