探讨无尘车间净化对湿度的控制

湿度控制是无尘车间生产必需具备的重要条件，相对湿度是无尘车间洁净室运作过程中一个常用的环境控制条件半导体无尘车间洁净室中的典型的相对湿度的目标值大约控制在30至50%的范围内，允许误差在±1%的狭窄的范围内，例如光刻区或者在远紫外线处理(DUV)区甚至更小而在其他地方则可以放松到±5%的范围内