解决方案

探讨洁净区GX过滤器检漏测试

检测时采样头离GX过滤器2-4aTl,沿GX过滤器内边框及中间缓慢扫描,每块GX过滤器至少测试出5个点,观察显示数据测试完毕后,将采样塑料管端口接到尘埃粒子计数器后面板上进行tl检然后关闭电源

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