主动隔振台在电子显微镜中应用

Herzan的AVI系列能使隔震频率实现Zda的分辨率
在所有的六个维度，AVI系列可以实现亚赫兹的隔震性能在2Hz下可衰减90%的震动，在5Hz可衰减99%，在10Hz可衰减99.8% 主动隔振台 主动隔振平台