静态法压力传感器
静态法的压力传感器
静态容量法的吸附量测量精度与压力测量精度直接相关,因此,要采用高精度的压力测量方法过去使用有毒的汞压力计或油压力计,目前一般使用高精度的电容器型压力传感器压力计内被Inconel薄膜隔成两个室这种压力计有压力型和压力差型
压力型压力计内部室保持在10-7Torr(1Torr=133.322Pa)的真空薄膜上有块陶瓷片,在陶瓷片上沉积两个同心圆金属电极,由薄膜和两个金属电极构成两个电容器,这两个电容器并联当薄膜两侧空间产生压力差时,薄膜弯曲,在膜ZX和膜边缘的两个电容器的电容量发生变化于是,桥式电路(电容器是其中的一部分)的阻抗发生变化,它输出的直流信号就反映了压力的变化对Zda测量压力为1Torr(133.322Pa)的传感器,它的测量灵敏度为1×10-6Torr,薄膜Zda弯曲为0.3mm但是,由于温度变化引起材料膨胀或收缩,传感器的几何结构发生改变,所以温度每变化1,产生的误差约为Zda测量压力的0.004%
因此,在高精度测量时,压力传感器也要恒温此外,测量精度还可能随时间变化,**每年校正一次有些传感器还耐气体腐蚀,这时必须知道可测量的气体电容器型压力传感器的预热时间需要1天半导体应变型传感器的测量精度低很多,但价格便宜,可作为辅助方法使用 HYA多路比表面积及孔径分布测试仪 HYA石墨比表面积测定仪\比表面积测量仪 HYA六路静态容量法比表面及孔隙度分析仪 HYA双站比表面积及孔隙率分析测试仪 HYA静态容量法比表面积及孔径分析仪 HYA比表面积及孔隙度分析仪 HYA智能比表面积分析仪 HYA4路静态容量法比表面积及孔结构分析仪 HYA单路静态容量法比表面积及孔隙度测试仪 HYA比表面积及孔隙率测试仪 HYA比表面积测试仪 6路静态法比表面积分析仪 6路比表面积及孔隙度分析仪 多路高智能比表面积测试仪 智能比表面仪 智能比表面仪 HYA孔径测试仪\孔径分布测试仪 HYA智能银粉比表面积测试仪\比表面积分析仪 HYA铁粉比表面积测定仪\比表面积测量仪 HYA催化剂比表面积测定仪\比表面积测量仪 HYA比表面积测定仪\比表面积测量仪 HYA高智能吸附剂比表面积测试仪\比表面积分析仪 HYA智能纳米材料比表面积测试仪\比表面积分析仪 HYA氧化锌比表面积测试仪\比表面积分析仪 HYA比表面积测定仪\比表面积测量仪 HYA高智能催化剂比表面积测试仪\比表面积分析仪 HYA智能石墨比表面积测试仪\比表面积分析仪 HYA氧化硅比表面积测定仪\比表面积测量仪 HYA孔径测试仪\孔径分布测试仪 HYA电池材料比表面积测定仪\比表面积测量仪 HYA比表面积测定仪\比表面积测量仪 HYA氧化钛比表面积测试仪\比表面积分析仪 HYA智能BET比表面积测试仪\比表面积分析仪 全自动比表面仪 比表面积仪 智能比表面积仪 全自动比表面积仪
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