高纯硅烷中痕量COCO2H2O转化色谱分析

本文叙述高纯SiH4 中痕量杂质的转化色谱分析条件装置及流程通过弱极性有机担体柱有效地将PPM硅烷中级杂质与主组份分离分离后的主组份经氢气氛下高温还原和电石转化生成烃类, 送高FID灵敏检测, 当进样量为1毫升, 记录仪为1毫伏(250毫米)时, 本试验所得灵敏度,CO.0.15vpm/min CH4 0.08vpm/, ,(样品直接送FDI检测灵敏度)CO2.0.5vpm/min ,H2O 0.3vpm/min 同时,确定了较满意的分析操作参数, 提出了相应的分析流程 氦离子化气相色谱仪