硅烷中H2，O2，Ar，N2，CO，CO2和碳氢化合物的检测-色谱检测

硅烷中H2O2ArN2COCO2色谱检测
硅烷是一和具有化学活性的气体,暴露在空气中会自燃;报以对硅烷的进样都有一定的要求; 氦离子化气相色谱仪