硅烷及其杂质的气相色谱分析

制备多晶硅时，用液氨法在低温下产生的硅烷，除主成份Sil 外，尚台H 微 NH
sizH BcH HzoozN：PH，以及痕量的B H 和A sH等杂质，而其中有些杂质，
如CH．H zONz等，主要由液氨带入因此，要加强原材料的分析，严格监控 艺过程
中硅烷气内的有害杂质，采取必要的纯化措施这样，将大大提高由分解炉中析出的多晶硅
质量采用气相色谱法分析硅烷及其杂质，由于它具有快速 灵敏准确进样量少等优点，
正逐步被人们采用
本文主要介绍我们工作中用来分析SIH 及其CH 氦离子化气相色谱仪