椭偏光谱仪在TiO2薄膜及多层增透膜中的应用

采用UVISEL相调制型椭圆偏振光谱仪对TiO2 Thin Films and Multilayer Antireflective Coatings样品进行分析,研究其膜层厚度和相应光学性质 在线椭偏仪 In-situ series 智能型多功能椭偏仪Smart SE 研究级全自动椭偏仪UVISEL 2 一键式全自动快速椭偏仪 Auto SE 研究级经典型椭偏仪 UVISEL