用于SEM（EBSD)分析的大面积样品制备新手段

GATAN 第二代精密刻蚀镀膜仪(PECS TMII)是一款桌面型宽束氩离子抛光及镀膜设备对于同一个样品，可在同一真空环境下完成抛光及镀膜PECSII是一款完全独立结构紧凑的台式设备采用两个宽束氩离子源对样品表面进行抛光，去除损伤层，从而得到高质量样品，用于在SEM，光镜或者 扫 描 探 针 显 微 镜 上 进 行 成 像 EDS EBSD CL EBIC或其它分析 Gatan 宽束氩离子抛光系统 697 Ilion II gatan冷冻传输系统ALTO 1000 蔡司（ZEISS） EVO 18钨灯丝系列扫描电镜 Gatan 原位加热台Murano 525 蔡司SIGMA 500高分辨率场发射扫描电镜