高纯氯化氢气体的纯度的检测：氦离子气相色谱法

随着微电子工业向着大尺寸高集成化高均匀性和高完整性方向的飞速发展，氦离子气相色谱法现在成为一种常规的气体分析方法，它具有线性宽灵敏度高等优点 GC5890N气相色谱仪