LIBS在金薄膜加工微检测中的应用

摘要：薄膜材料微加工是微纳技术微机电系统光电子领域的核心技术文章提出了针对薄膜加工时缺乏有效的质量控制手段，应用激光诱导等离子体(LIBS)技术进行过程表征的方法 海洋光学LIBS-INSIGHT元素分析仪