一种利用氮等离子体发射光谱检测电子密度的新方法

本文利用氮的等离子体的发射光谱对体积平均电子密度进行检测其中利用了BTC112E检测其280nm-380nm的发射光谱，得到了比较好的结果 光纤耦合TE致冷CCD光谱仪 高速USB2.0/1.1 CCD 光谱仪