硅薄膜晶化率的拉曼检测分析

利用必达泰克公司的i-Raman激光拉曼光谱仪来检测硅结晶过程中从非定型硅到多晶硅的晶化率，并获得了满意的效果 i­Raman小型拉曼光谱仪 InnoRam小型化科研级拉曼光谱仪 可视化显微拉曼检测平台