上海伯东德国普发Pfeiffer 涡轮分子泵成功应用于磁控溅

伯东公司成立于1953年，范围内有一千七百名员工伯东企业(上海)有限公司(www.hakuto-vacuum.cn)主要从事半导体设备电子零部件加工销售及相关服务工作，集团年营业额约为100亿人民币伯东公司在国内主要城市：北京苏州广州深圳成都及厦门设有营业据点上海伯东真空产品事业部秉承为广大ZG客户提供世界yi流的真空产品推动ZG真空工艺发展承担企业社会责任为经营理念，已累计为超过10,000家企业提供真空服务，覆盖工业半导 上海伯东代理德国普发 Pfeiffer 涡轮分子泵 Hipace 700 成功应用于宁波某研究所磁控溅射（Megnetron Sputtering）系统.宁波某研究所磁控溅射（Megnetron Sputtering）系统用于光刻胶片上溅金属铬,铜,钛.其中材料生长腔工作真空度要求 < E-7 hPa,能做到4英寸片,3靶位,可实现编程镀膜.材料生长腔对涡轮分子泵的要求较高,老师在考量了德国普发 Pfeiffer Hipace 700 涡轮分子泵和爱德华 Edwards STP603 分子泵后,因为对分子泵的压缩比要求较高,Z终选择了德国普发 Pfeiffer 分子泵 伯东Pfeiffer 分子泵 Hipace 700