伯东Pfeiffer 残余气体分析质谱仪应用于分子束外延系统

伯东公司成立于1953年，范围内有一千七百名员工伯东企业(上海)有限公司(www.hakuto-vacuum.cn)主要从事半导体设备电子零部件加工销售及相关服务工作，集团年营业额约为100亿人民币伯东公司在国内主要城市：北京苏州广州深圳成都及厦门设有营业据点上海伯东真空产品事业部秉承为广大ZG客户提供世界yi流的真空产品推动ZG真空工艺发展承担企业社会责任为经营理念，已累计为超过10,000家企业提供真空服务，覆盖工业半导 分子束外延(MBE)是一种晶体生长技术，将半导体衬底放置在超高真空腔体中，和将需要生长的单晶物质按元素的不同分别放在喷射炉中，由分别加热到相应温度的各元素喷射出的分子流能在衬底上生长出极薄的，可薄至单原子层水平，单晶体和几种物质交替的超晶格结构
分子束外延主要研究的是不同结构或不同材料的晶体和超晶格的生长该方法生长温度低，能严格控制外延层的层厚组分和掺杂浓度
分子束外延系统对真空度要求及其高，对真空腔体的密封性材料放气率微量杂质气体和水蒸气比较敏感，本系统采用上海伯东德国 Pfeiffer 残气质谱仪 QMG 对超高真空腔体进行检漏，及材料放气组分及水汽进行分析，确保超高真空及真空的稳定性，对晶格的生长起到很好的作用 伯东公司德国普发Pfeiffer 普发质谱分析仪 HiCube RGA