几种SIMS的原理

文章简单介绍了SIMS的工作原理及可应用范围
EQS 是差式泵式二次离子质谱（SIMS-Secondary Ion Mass Spectrometer Bolt-On probe），可分析来自固体样品的二次阴阳离子和中性粒子采用Z*技术 的SIMS 探针，便于连结到现有的UHV表面科学研究反应室 二次离子质谱探针