利用XPS和二次离子质谱仪（SIMS）进行材料表面表征

文章介绍了利用XPS（X-ray Photoelectron Spectroscopy）和SIMS（Secondary Ion Mass Spectrometry）进行多层材料的结构和组成分析实验方法有很多值得广大材料研究者借鉴之处 二次离子质谱探针