CrN/AlN多涂层的高温氧化High-temperature oxidation o

实验报告的是通过二次离子质谱仪（ＳＩＭＳ）对CrN/AlN高温氧化物多涂层进行的深度剖析．涂层是通过一个封闭非平衡的磁电管沉积成的．氧化是在９００度下进行２小时，在１１００度下进行４小时． 二次离子质谱探针