HORIBA智能型多功能椭偏仪 Smart SE

HORIBA Smart SE智能型多功能椭偏仪

仪器介绍：

Smart SE智能型多功能椭偏仪是一款针对单层和多层薄膜进行简单，快速，准确表征和分析的工具。

多功能性设计，配置灵活，具备多角度测量能力，可方便实现在线与离线配置切换。

技术参数：

• 光谱范围：450-1000nm

• 多种微光斑自动选择

• 光斑可视技术，可观测样品表面

• CCD探测器

• 自动样品台尺寸：200mmX200mm；XYZ方向

• 自动调节; Z轴高度>35mm

主要特点：

• 一键式操作，直接报告输出

• 液晶调制技术，测量光路中无运动部件

• CCD 探测系统，快速全谱输出

• 多个微光斑尺寸选择，可视技术

• 多角度测量

• 可实现在线测量配置