清华大学等离子体增强化学气相沉积中标公告

　　清华大学等离子体增强化学气相沉积 项目(项目编号：清设招第2016299号) 组织评标工作已经结束，现将评标结果公示如下：

　　一、项目信息

　　项目编号：清设招第2016299号

　　项目名称：清华大学等离子体增强化学气相沉积

　　项目联系人：李美珍，王旭东

　　联系方式：62785713，62771946

　　二、采购单位信息

　　采购单位名称：清华大学

　　采购单位地址：清华大学

　　采购单位联系方式：李美珍，王旭东 62785713，62771946

　　三、项目用途、简要技术要求及合同履行日期：

　　主要用于沉积SiO2、SiNx介质膜，核心要求是沉积膜厚(SiO2厚度≥10μm)、沉积温度范围宽(从≤90℃到350℃)、可经受后续退火(退火温度≥400℃)。

　　四、中标信息

　　招标公告日期：2016年12月02日

　　中标日期：2016年12月23日

　　总中标金额：197.9 万元(人民币)

　　中标供应商名称、联系地址及中标金额：

　　中 标 人：安科瑞泰科技(北京)有限公司

　　地 址：北京市海淀区上地三街9号嘉华大厦A座1006室

　　中标金额：1979000元人民币

　　评标委员会成员名单：

　　裴丽、陈弘、卢耀文、肖金龙、王健

　　中标标的名称、规格型号、数量、单价、服务要求：

　　等离子体增强化学气相沉积1套

　　五、其它补充事宜